SEMI Std.¶õ Semiconductor Equipment Communications StandardsÀÇ ¾à¾î·Î
¹ÝµµÃ¼ Àåºñ°£ Åë½Å±Ô¾à. Áï, Àü ¼¼°èÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀÎÀÇ ½Ã½ºÅÛ Ç¥ÁØÈ ¹× ¹ü¿ë¼ºÀ»
°®´Â ±Ô°ÝÀ» ¶æÇϸç, JEIDA(Japanese Electronic Industry Development Association)´Â
"ÀϺ» ÀüÀÚ °ø¾÷ ÁøÈïÇùȸ"¿¡¼ Á¤ÇÑ ±Ô°ÝÀ» ÀǹÌÇÕ´Ï´Ù.
ÀϹÝÀûÀ¸·Î ±¹³»¿¡¼ »ý»êÇÏ´Â LG Siltron wafer¸¦ ºñ·ÔÇؼ, ´ëºÎºÐÀÇ ¹Ì±¹,À¯·´ Áö¿ª ¾÷üÀÇ ¿þÀÌÆÛ´Â SEMI Std. ¿þÀÌÆÛ·Î Á¦ÀÛÀÌ µÇ°í, ÀϺ»¾÷ü¿¡¼ Á¦Á¶ÇÑ ¿þÀÌÆÛµéÀº JEIDA Wafer°¡ ¸¹ÀÌ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
ÀÌ ÀÚ·á´Â SEMI.¿Í JEIDA¿¡ ´ëÇؼ ¾î¶² SPEC.¿¡¼ ¾î¶² Â÷ÀÌ°¡ ÀÖ´ÂÁö ºñ±³ÇÑ ÀÚ·áÀÔ´Ï´Ù. |