ÇöóÁ¶õ ¹«¾ùÀΰ¡?
ÇöóÁ¶ó´Â ¸»À» ¹°¸®ÇÐ ¿ë¾î·Î óÀ½ »ç¿ëÇÑ »ç¶÷Àº ¹Ì±¹ÀÇ ¹°¸®ÇÐÀÚ 'Langmuir'(¶û¹¿¾î)·Î¼, Àü±âÀûÀÎ ¹æÀüÀ¸·Î ÀÎÇØ »ý±â´Â ÀüÇϸ¦ ¶í ¾çÀ̿°ú ÀüÀÚµéÀÇ Áý´ÜÀ» ÇöóÁ¶ó°í ÇÏ°í ±× ¹°¸®ÀûÀÎ ¼ºÁúÀ» ¿¬±¸ÇÏ´Â °ÍÀÌ ÇöóÁ ¹°¸®ÇÐÀÌ´Ù.
ÇöóÁ¶õ ¼ÒÀ§ 'Á¦ 4ÀÇ ¹°Áú»óÅÂ'¶ó°í ¾Ë·ÁÁ® ÀÖÀ¸¸ç,¿ìÁÖÀÇ 99%°¡ ÇöóÁ »óÅ·ΠÀÌ·ç¾îÁ® ÀÖ´Ù´Â »ç½Ç ¶ÇÇÑ ÀÌ¹Ì Àß ¾Ë·ÁÁ®ÀÖ´Ù. ¹°Áú Áß °¡Àå ³·Àº ¿¡³ÊÁö »óÅ´ °íüÀÌ´Ù. ÀÌ°ÍÀÌ ¿(¿¡³ÊÁö)À» ¹Þ¾Æ¼ Â÷Ãû ¾×ü·Î µÇ°í ±× ´ÙÀ½¿¡´Â ±âü·Î ÀüÀ̸¦ ÀÏÀ¸Å²´Ù. ±âü¿¡ ´õ Å« ¿¡³ÊÁö¸¦ ¹ÞÀ¸¸é »óÀüÀÌ ¿Í´Â ´Ù¸¥ ÀÌ¿ÂÈµÈ ÀÔÀÚµé, Áï ¾ç°ú À½ÀÇ ÃÑ ÀüÇÏ ¼ö´Â °ÅÀÇ °°¾Æ¼ ÀüüÀûÀ¸·Î´Â Àü±âÀûÀÎ Áß¼ºÀ» ¶ç´Â ÇöóÁ »óÅ·Πº¯È¯ÇÑ´Ù.
ÇöóÁÀÇ »óÅ´Â
ÇöóÁ »óÅ´ ±× ¹Ðµµ¿Í ¿Âµµ¸¦ ±× ÁÖ ÆĶó¹ÌÅÍ·Î »ç¿ëÇϸç ÀÌ µÎ°¡Áö ¿ä¼Ò¿¡ µû¶ó ¿ì¸®ÁÖº¯¿¡¼µµ ½±°Ô ã¾Æ º¼ ¼ö ÀÖ´Â ÇöóÁ »óŵé, Áï, ³×¿Â»çÀÎÀ̳ª Çü±¤µîÀ¸·ÎºÎÅÍ ½ÃÀÛÇÏ¿© ºÏ±ØÀÇ ¿À·Î¶ó, žçÀÇ »óÅÂ, ÇÙÀ¶Çշο¡¼ÀÇ ÇöóÁ »óÅÂµî ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô ºÐ·ùµÇ¾îÁú ¼ö°¡ ÀÖ´Ù.
ÇöóÁ¶ó´Â ¿ë¾î°¡ ÀϹÝÀε鿡°Ô´Â »ý¼ÒÇÏ°Ô µé¸±Áö´Â ¸ð¸£Áö¸¸ °¢ °¡Á¤¿¡¼ Á¶¸íµîÀ¸·Î »ç¿ëÇÏ°í ÀÖ´Â Çü±¤µîÀ̳ª, ±æ°Å¸®¿¡¼ ÈçÈ÷ º¼ ¼ö ÀÖ´Â ³×¿Â»çÀÎ, ÇÑ ¿©¸§¿¡ ¼Ò³ª±â°¡ ½ñ¾ÆÁö¸é¼ ÀÚÁÖ ¹ß»ýÇÏ´Â ¹ø°¹ºÒ°ú °°Àº °ÍµéÀÌ ÇöóÁ »óŶó°í Çϸé ÀÌÇØÇϱⰡ ½¬¿ï °ÍÀÌ´Ù.
ÀÌÁß °ø¾÷ÀûÀ¸·Î ÀÌ¿ëÀÌ È°¹ßÇÑ ÇöóÁ´Â Àú¿Â ±Û·Î¿ì ¹æÀü ÇöóÁ·Î¼ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ÇöóÁ ½Ä°¢(Plasma Etch) ¹× ÁõÂø(PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), ±Ý¼ÓÀ̳ª °íºÐÀÚÀÇ Ç¥¸éó¸®, ½Å¹°ÁúÀÇ ÇÕ¼º µî¿¡¼ ÀÌ¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, °øÁ¤ÀÇ ¹Ì¼¼È, Àú¿ÂÈÀÇ Çʿ伺 ¶§¹®¿¡ ÇöóÁ °øÁ¤ÀÌ Á¾·¡ÀÇ °øÁ¤À» ´ëüÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, °æ¿ì¿¡ µû¶ó¼´Â ÇöóÁ¸¸ÀÌ Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹°ÁúÀ̳ª ȯ°æÀ» ÀÌ¿ëÇϱâ À§ÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß°¡ Á¡Á¡ ´õ È®´ëµÇ°í ÀÖ´Ù
ÇöóÁÀÇ ¹°¸®Àû Ư¼ºÀº
ÁØÁß¼ºÀûÀÎ °³½ºÀÎ ÇöóÁ´Â ±× ¿ä¼Òµé(ÇÏÀüÀÔÀÚ¿Í Áß¼ºÀÔÀÚ)ÀÇ ÇÏÀü¼º ¶§¹®¿¡ Àü±â¸¦ Àüµµ½ÃÅ°¸ç Àü±â·ÂÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿© Áß¼ºÈ ÇÏ·Á´Â °æÇâÀÌ ÀÖÀ¸¸ç ±×·ÎÀÎÇØ Áøµ¿À» ¾ß±â½ÃŲ´Ù. ¶ÇÇÑ ¿ÜºÎÀÇ ¿µÇâ¿¡ ÀÇÇÑ ÇöóÁÀÇ Áøµ¿µµ °í·ÁµÉ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ·¯ÇÑ ¸ðµç Áøµ¿Àº ÇöóÁÆÄÀÇ ¿øÀÎÀÌ µÈ´Ù.
ÇöóÁÆÄ´Â ±× ȯ°æ¿¡ µû¶ó ¿©·¯ °¡Áö ÇüÅ·ΠºÐ»êÀÌ µÇ¾îÁö¸ç, ÇöóÁÆÄ´Â Á¦¾îÇÙÀ¶Çշο¡¼ÀÇ ÇöóÁ°¡¿¿¡ ÀÀ¿ëµÇ¾îÁö´Â Áß¿äÇÑ ¹°¸®Àû Ư¼ºÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ÇöóÁÀÇ Àüµµ¼º¿¡ ÀÇÇÑ ÀúÇ׿, ÇöóÁ¿¡ Àü·ù¸¦ Èê·ÁÁÜÀ¸·Î½á »ý¼ºµÇ´Â ¿À» ÀÌ¿ëÇÏ´Â °Íµµ ±× °¡¿¹æ¹ýÀÇ ÇÑ°¡ÁöÀÌ´Ù.
ÇöóÁÀÔÀÚÀÇ ÇÏÀü¼º¿¡ ÀÇÇÑ °¡Àå Å« Ư¡Àº ±× Ư¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¿©·¯ °¡Áö ¹æ¹ýÀ¸·Î ÇöóÁ¸¦ Á¦¾î°¡´ÉÇÏ°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù. ÁÖ·Î ÀÚ±âÀåÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÀÔÀÚµéÀ» Á¦¾îÇϸç ÀÌ ÀÚ±â Â÷Æó´Â ¿ÇÙÀ¶ÇÕ·Î ¿¬±¸¿¡¼ °¡Àå ¸¹À̾²ÀÌ´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù.
±×·¯³ª ÇöóÁ´Â ¿ª½Ã °³½ºÀÇ È帧, Áï À¯Ã¼ÀÌ¸ç °³°³ÀÇ ÇÏÀüÀÔÀÚÀÇ ÀÚ±âÀû Â÷Æó¸¸À» °í·ÁÇÏ´Â °ÍÀº ºÒ°¡´ÉÇÏ¸ç ±×·¯¹Ç·Î À¯Ã¼¿ªÇÐÀûÀÎ ºÐ¼®ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ°Ô µÈ´Ù. ¿©±â¼ ¹ßÀüµÈ Çй®ÀÌ ÀÚ±âÀ¯Ã¼¿ªÇÐ(MHD)ÀÌ¸ç ¿©·¯ °¡Áö Áö¹è ¹æÁ¤½ÄµéÀÌ ÇÊ¿äÇÏ°Ô µÈ´Ù.
À̶§´Â ÇÏÀüÀÔÀÚ»óÈ£°£ÀÇ, ȤÀº ÇÏÀüÀÔÀÚ¿Í Áß¼ºÀÔÀڵ鰣ÀÇ Ãæµ¹·Î ÀÎÇÑ ÇöóÁÀÇ È®»êÀ̳ª, ÇÏÀüÀÔÀÚ»óÈ£°£ÀÇ Àç°áÇÕÀ¸·ÎÀÎÇÑ ÀÔÀÚ ¼Õ½Ç, ¿ÜºÎÀÇ ÀüÀÚ±âÀåÀÇ ¹æÇâ¿¡ µû¸¥ ¿©·¯ °¡Áö ÇüÅÂÀÇ µå¸®ÇÁÆ®¿¡ ÀÇÇÑ ºñ¹Ù¶÷Á÷ÇÑ ¹æÇâÀ¸·ÎÀÇ È®»ê, Áï ºÒ¾ÈÁ¤¼º¿¡ ´ëÇÑ ¿ä¼ÒµéÀÌ °í·ÁµÇ¾îÁ®¾ß Çϸç, ÀÌ·¯ÇÑ ¿©·¯ °¡Áö ¿ä¼ÒµéÀÌ Æ÷ÇÔµÈ Áö¹è¹æÁ¤½ÄÀ¸·ÎºÎÅÍ ¿ª½Ã ¸¹Àº ÇüÅÂÀÇ ÇöóÁ ºÐ»ê°ü°è½ÄÀÌ À¯µµµÇ¾îÁø´Ù. ¸ðµç ½Ç¼¼°è°¡ ±×·¸µí ÀÌ·¯ÇÑ ¹°¸®ÀûÀÎ ¾ÈÁ¤µÈ ¼±Çü¼º¸¸ÀÌ ÇöóÁ¿¡ Á¸ÀçÇÏ´Â °ÍÀº ¾Æ´Ï´Ù.
¿¹¸¦ µé¸é, Áö¹è¹æÁ¤½ÄÀÇ ´ëÀüÁ¦´Â ÇöóÁ ÀÔÀÚµéÀÌ ±× ¿¡³ÊÁö°ü°è¿¡ ÀÖ¾î ¸Æ½ºÀ£ ºÐÆ÷¸¦ µû¸¥´Ù´Â °¡Á¤ÀÌ Æ÷ÇԵǾî ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ´Â 100% Á¤È®ÇÑ °ÍÀÌ ¾Æ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÇöóÁ´Â ¹«ÇÑ´ëÀÇ °ø°£¿¡¼ Á¸ÀçÇÏ´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ±×°ÍÀ» °¡µÎ´Â ÀÏÁ¾ÀÇ '¿ë±â'°¡ Ç×»ó ÇÊ¿äÇϹǷÎ, ±× ¿ë±â º®°ú ÇöóÁÀÔÀڵ鰣¿¡´Â ±× ÇöóÁÀÇ Á߽ɺοʹ ¹ÐµµÃø¸é¿¡¼ ´Ù¸¥ ¾ç»óÀ» º¸À̱⵵ ÇÑ´Ù.(ÇöóÁ sheathÀÇ Á¸Àç) ÀÌ·¯ÇÑ ÇöóÁÀÇ ´Ù¾çÇÏ°íµµ ÀÌÇØÇϱ⠾î·Á¿î Ư¼ºµéÀº Áö±ØÈ÷ ¸¹Àº ºÐ¾ß¿¡¼ ±× ÀÀ¿ë¼º ¹× ¿¬±¸Àû °¡Ä¡¸¦ ºÎ¿©ÇÑ´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â ÄÄÇ»ÅÍÀÇ ±Þ¼ÓÇÑ Ã³¸®¼Óµµ¿Í ¿ë·® ¸é¿¡¼ÀÇ ¹ßÀüÀ¸·Î ÀÎÇØ ÇöóÁÀÇ Æ¯¼ºÀ» Çؼ®Çϴµ¥ ÀÖ¾î ¿©·¯ ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ÇÁ·Î±×·¥¿¡ ÀÇÇØ Á»´õ ½ÇÁ¦ÀûÀÎ ÇöóÁ Çö»óµéÀ» °üÂûÇÏ°í ¿¬±¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇöóÁÀÇ ÀÀ¿ëºÐ¾ß´Â
1. ½Å¼ÒÀç ÇÕ¼º - Á¾·¡ÀÇ ÃÊ°í¾Ð, °í¿Â¿¡¼ ¾ò¾îÁö´ø ÀÎÁ¶ ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ±â»ó ÁõÂø¹ý¿¡ ÀÇÇØ, ƯÈ÷ ¹Ú¸· ÇüÅ·Π¾ò¾îÁö°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌÁ¾ ±âÆÇ»ó ´Ü°áÁ¤ ´ÙÀ̾Ƹóµå ¼ºÀåÀÌ °¡´ÉÇØÁú °æ¿ì ±ØÇÑ »óȲ¿¡¼µµ µ¿ÀÛÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ³ª û»ö ¹ß±¤ ´ÙÀ̾Ƹóµå µî°ú °°Àº ȹ±âÀûÀÎ ÀÌ¿ëºÐ¾ß°¡ Àü°³µÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
}2. °íºÐÀÚÀÇ Ç¥¸éó¸® - °íºÐÀÚ Àç·áÀÇ ¼Ò¼ö¼º, Ä£¼ö¼º, ¿°»ö¼º, Á¢Âø¼º µîÀ» °³¼±ÇÏ¿© À̵鿡 ÀÇÇØ ¸¸µé¾îÁö´Â ¼¶À¯³ª Àç·áÀÇ ±â´ÉÀ» Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù.
3. ±Ý¼Ó Ç¥¸éó¸® - ±Ý¼ÓÇ¥¸é¿¡ TiN/C, CrN/C, AlN µî°ú °°Àº ÃÊ°æ ÇǸ·À» ÄÚÆÃÇÔÀ¸·Î½á Ç¥¸éÀÇ ³»¸¶¸ð, ³»ºÎ½Ä ¼ºÁúÀ» °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÁõÂø¹ýÀ» ¾µ °æ¿ì ºÎÂø·ÂÀÌ ÁÁ°í, ÁõÂø ¿Âµµ°¡ ³·¾ÆÁú ¼ö ÀÖ¾î¼, Á¾·¡ÀÇ ¹æ¹ý¿¡¼¿Í °°ÀÌ ÁõÂø½Ã ±âÆÇÀÇ °í¿Â °¡¿ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ¿© ÀÌ¿¡ ¼ö¹ÝµÇ´Â ¸ðÀçÀÇ º¯Çü, º¯¼ºÀ» ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Â µîÀÇ ÀåÁ¡ÀÌ Àֱ⠶§¹®¿¡ ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÃÊ°æÇǸ· ±â¼ú µîÀÌ »ê¾÷ü¿¡¼ ¾²¿©Áö±â ½ÃÀÛÇÏ°í ÀÖ´Ù.
4. ȯ°æ Á¤È - ÀüÀÚºöÀ̳ª ±Û·Î ¹æÀü ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© °øÀåÀÇ ¹è±â°¡½º Áß NOx, SOx¸¦ Á¦°ÅÇÏ´Â °Ç½Ä 󸮱â¼úÀº ȯ°æºÐ¾ß¿¡¼µµ ÇöóÁ°¡ Áß¿äÈ÷ ¾²¿©ÁüÀ» º¸¿©ÁØ´Ù.
5. À̹ۿ¡ ÃÖ±Ù¿¡´Â Â÷¼¼´ë °í¼±¸í ÅÚ·¹ºñÁ¯¿¡¼ ¿ä±¸µÇ´Â ´ëȸé(50ÀÎÄ¡) ÆòÆÇ Ç¥½ÃÀåÄ¡ÀÇ ÇϳªÀÎ ÇöóÁ Ç¥½ÃÀåÄ¡(Plasma Display Panel)¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸°¡ ¼öÇàµÇ°í ÀÖ°í, Àå±âÀûÀ¸·Î´Â 21¼¼±â¿¡ µé¾î ¿ä±¸µÇ´Â ¿¡³ÊÁö, ½ÅÀç·á, ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ Á¦Á¶, ȯ°æºÐ¾ß µî¿¡¼ ÇöóÁÀÇ ÀÌ¿ëÀÌ Á¡Á¡ ´õ ´Ã¾î³¯ Àü¸ÁÀ¸·Î ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ¿¡ µû¶ó ´Ù¾çÇÑ ÇöóÁÀÇ »ý¼º ¹× Á¦¾î, ÃøÁ¤ ±â¼ú, ÇöóÁÀÇ ¹°¼ºÀ» ÃøÁ¤ÇÏ´Â ÇöóÁ Áø´Ü¹ýÀÌ °³¹ßÀÌ ÀÌ·ç¾îÁú °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
ÃÍó : ¹Ì¸£ÅØ |