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O
OA(Outside Air)
AHU에서 청정화되어 청정실에 공급되는 공기.
OAHU(Out Air Handing Unit)
외조기라 칭하며 외기를 흡입처리하며 맞게 송기한다.
Oalemce Election
원자핵 둘레의 전자군중 맨 바깥쪽을 돌고 있는 전자, 최외각 전자라고 한다.
OCD(Optically Coupled Device)
광결합 장치.
Octal Test
Probe Test시 touch에 8Die를 Probeinng하며 동시에 8 Die를 test하는 것을 말한다.
OEIC(Organized design for line & Crew System)
제조System의 문제점을 찾아서 작업방법 및 Layout개선등의 Method를 설계하여 Line에 정착 및 배치인원의 적정화를 도모하는 활동.
One Chip CPU
마이크로 프로세서의 가장 간단한 것으로 문자 그대로 프로세서 기능이 1개 Chip상에 LSI화 된 것을 말한다.
ONO 구조
Capacitor전극사이에 들어갈 Dielectric Material로 Oxide/ Nitride/ Oxide의 3층 구조를 형성하여 단층구조에서 발생할 수 있 는 Pinhole을 방지하고 Breakdown특성을 향상시키는 한편, Nitride Dielect-
ric Constant가 Oxide에 비해 훨씬 크기 때문에 Capacitance를 증가시킨다.
Open
소자의 내부에서 단선된 것을 말한다.
Open Repair
TFT Arrey Panel공정에서 Data Lline또는 Gate Line에 서로 다른 두 line이 서로 short되었을 시 이를 끊어서 정상적으로 정상 작동하도록 하는 방법.
Optic Emission Method
Plasma가 etch하고자 하는 박막과의 반응에 의해 발생되는 반응 부산물의 Optic signal을 추적하는 방법.
Optical Axis
복굴절 매질중에서 常光線(No:ordinary)과 異常光線 (Ne:extra ordinary)이 같은 속도로 전달되어 복굴절이 나타내지 않게 하는 방향.
Orientation- Film(배향막)
액정물질을 단순히 유리기판상에 주입시키는 것만으로는 일정한 분자배열을 얻기 힘들기 때문에 포리이미드란 고분자물질을 이 용하여 배향막을 만듬.
Oscilator(발진기)
입력신호가 없어도 출력에 계속하여 일정한 주파수의 신호가 나오는 회로이다.
O/S(Open Short)
개방 및 단락 불량.
OTP(One Time Programmable)
주로 EPROM Device를 Plastic Package에 조립하여 Erase를 못하는 대신 Package비용을 줄이는 Device를 일컫음.
Output Buffer
Sence AMP에서 증폭된 Data의 External Load를 Device하기 위해 사용되는 Buffer.
Output Level
Device가 출력하는 전위로 저장된 Data의 특정상태(High, Low)를 나타낸다.
Outgassing
Source Gas를 바꿀 때마다 잔류 Gas를 제거하기 위하여 고열로 태워 Lon Beam생성부를 세정시켜 주는 형태.
Oven
Wafer를 말리는 장치.
Over Coat
투명도전막(ITO)이 있는 경우 굴곡 상태가 틀려서 디스플레이에 얼룩이 생기는 경우 투명도전막을 패턴한 후 Alksli Barrir Coa t를 하면 배향층의 생성이 용이하다.
Over Coating(Polyimide Coating)
액정분자를 일정방향으로 배향시키는 박막으로서 액정분자의 배향을 안정시키는 동시에 투명전극의 반사를 작게 하고, 내직류성 을 향상시키는 것으로 폴리이미드가 주로 사용됨.
Over Etching
End Ppint Detection의 개념에 추가로 Etch되는 것을 말함.
Oerlay Vernier
Wafer의 감광액상에 전달된 감광원판형상의 중첩도를 측정하기 위하여 Wafer내에 삽입되어 있는 Pattern중첩 측정용 척도.
Over- flow
수조의 상부로부터 흘러 넘치는 현상.
Oxidation
산화를 말하며, 확산로를 이용하여 고온에서(650 ~ 1200 도) Wafer표면에 산화막을 형성하는 것.
Oxide
산화막(SiO2)
Oxide Breakdown
Oxide막의 절연강도 이상의 voltage에서의 전기전도 현상.
Oxide Film(산화막)
불순물 확산의 마스크로서도 사용되며 반도체 표면의 보호막으로도 사용될 수 있는 산화막으로 가장 많이 사용되고 있다. |
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