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  2) 기타 공기압기기

  ① 전자밸브, SPEED CON', FITTING 등은, 외부누설을 방지하기 위해 폐(閉) LOOP를 구성, 전자밸브의 EXH 포트를 관리한다. 실린더와는 별도로, 기기로부터의 외부 누설을 없애는 대책을 시행중이다.

  ② 전자밸브
  ★ 전자밸브의 취부 위치는 WORK 보다 하루에 취부해 EXH 포트로부터 배기되는 에어가 CR내 DOWN FLOW 유속을 흐트러지지 않도록 고려할 필요가 있다.

  ★ EXH 에어가 CR의 유속이상으로 배기되면, 먼지의 휘날림으로 인해 WORK에 먼지가 부착될 우려가 있음으로, 이에 대한 대책은 다음과 같다.
    * 밸브 BOX를 만들어 그 안에 설치한다.
    * EXH 용 FILTER를 부착한다.

  ③ FITTING
   ★ 외부 누설이 전혀 없는 것이 좋지만, ONE TOUCH FITTING은 완벽한 외부 누설 방지가 어렵다.
   ★ 그러나, 전부 사용 불가능하지는 않고, 실린더와 동일한 방법을 적용중임.

① 청정화 시스템은, 구동계 라인 시스템 A와 BLOW 라인 시스템 B로 분류할 수 있다.

  ★ 시스템 A와 B의 차이점은 노점온도의 차이임
      시스템 A ------- 대기압 노점온도 : -17℃
      시스템 B ------- 대기압 노점온도 : -50℃
      시스템 B는, N₂(대기압 노점 -65 ~ -70℃) 치환을 고려한 것임
  ★ 청정화 시스템의 특징으로서, 슈퍼미스트 세퍼레이터 AME를 사용함으로써 청정화 (0.3μm 입자가 1ft³중에 100개 이내의 청정도)를 이룰 수 있는 것이다.

  ② 시스템 A : 구동계

  ★ 공기압기기의 트러블을 없앤다.
  ★ TUBE의 리크 및 파손에 의한 CR내 오염을 최소한으로 한다.

  ③ 시스템 B : BLOW LINE

  ★ AME를 설치하더라도 2차측은 0.3μm 100개 /ft³의 먼지가 있기 때문에 노즐 전단에 크린가스 필터 SF시리즈(0.01μm 100% 제거)를 설치한다.
  ★ AME 이후의 라인에 설치되는 기기(예를 들면 ON-OFF 밸브 등)의 내부 발진에 의한 오염을 방지하기 위해, SF 시리즈를 설치한다.
  ★ 전자밸브는 내부에 습동부가 있기 때문에, 발진이 있다. 또한, 습동부에 구리스를 사용하는 경우가 많기 때문에 구리스의 유출 등에 의한 발진문제가 있다. 이를 위해 BLOW 라인 및 진공-파괴 라인에는 발진방지를 위한 크린가스 필터 SF 시리즈의 설치가 필요하다.