¡á C-Àü±â KS C 6063 Á÷Á¢ ȸ·Î ¿ë¾î
1. ±â´É µð¹ÙÀ̽º (functional device) ´ÜÁø ÀüÀÚ Çö»ó »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ¿, ±¤, ±â°è Áøµ¿ ¹× ±âŸ ¹°¸®,ÈÇÐ Çö»óÀ» Á÷Á¢ÀûÀÎ ÇüÅ·ΠÀÌ¿ëÇÏ¿© ¼Ò¿äÀÇ ½ÅÈ£ ¶Ç´Â ¿¡³ÊÁöó¸®, º¯È¯ µîÀ» ¸ñÀûÀ¸·Î ÇÏ´Â ±â´ÉÀ» °®°Ô ÇÑ µð¹ÙÀ̽º. 2. ±â´É ºí·Ï (functional block) ½Ã½ºÅÛ, ¼ºê ½Ã½ºÅÛ µîÀ» ±¸¼ºÇÏ´Â ºí·ÏÀ¸·Î ±× ½Ã½ºÅÛÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ±â´ÉÀ» ¹ßÈÖÇÏ´Â °Í. 3. ±âÆÇ(ÁýÀû ȸ·ÎÀÇ) (substrate(of an integrated circuit)) Ç¥¸éÀ§ ¶Ç´Â ±× ³»ºÎ¿¡ ÁýÀû ȸ·Î°¡ ¸¸µé¾îÁö´Â ¹°Ã¼. 4. ³×ÀÏ Çìµå º»µù,º¼ º»µù (nail head bonding ball bonding) ±Ø¼¼¼± ,¸®À̵弱 ¿ë´ÜÇÏ¿© ¾Õ³¡À» ±¸»óÀ¸·Î Çü¼º½ÃÄÑ ¿ ¶Ç´Â ÃÊÀ½ÆÄ Áøµ¿À» °¡ÇÏ¸é¼ ¾ÐÂøÇÏ´Â °Í. 5. ´Ù°áÁ¤ ºÐ¸® (poly-crystal isolation) ´Ü°áÁ¤°ú ´Ù°áÁ¤°úÀÇ °æ°èÀÇ Àý¿¬¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ´Ù°áÁ¤¿¡ ÀÇÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀû ȸ·ÎÀÇ °¢ ¼ÒÀÚ¸¦ Àü±âÀûÀ¸·Î ºÐ¸®ÇÏ´Â °Í. 6. ´ÙÀÌ º»µù (die bonding) ¹ÝµµÃ¼ ĨÀ» ±â°üÀ̳ª ÆÑÄÉÁö¿¡ Á¢ÂøÇÏ´Â °Í ¶Ç´Â ÀÌÀÇ Á¶ÀÛ ºñ °í ´ÙÀÌ Á¢Âø°ú °°Àº Àǹ̷Π»ç¿ëµÉ ¶§µµ ÀÖ´Ù. 7. ´ÙÀÌ Á¢Âø (die attachment) ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Ä¨À» ±âÆÇ ¶Ç´Â ÆÐÅ°Áö¿¡ ºÙÀÌ´Â °Í. 8. ´ÙÀ̺ÐÇÒ (did separation) ÁýÀû ȸ·Î°¡ ¸¸µé¾îÁø ¿þÀÌÆÛ¸¦ °³°³ÀÇ Ä¨À¸·Î ºÐÇÒÇÏ´Â °Í. 9. ´ÙÃþ ¹è¼± (multilayer interconnection) ÇϳªÀÇ È¸·Î ±â´ÉÀ» °®°Ô Çϱâ À§ÇÏ¿© ±¸¼º ºÎºÐÀ» ¼·Î Á¢¼ÓÇÏ´Â °æ¿ì ¹è¼±¿ë µµÃ¼¿Í Àý¿¬Ã¼¸¦ ±³´ë·Î ÀûÃþÇÏ¿© 2Ãþ ÀÌ»óÀÇ µµÃ¼ÃþÀ» °¡Áø ¹è¼±. 10. ´ÜÀÚ (terminal) ¿ÜºÎ¿Í Á¢¼ÓÇϱâ À§ÇÏ¿© ÀÌ¿ëµÇ´Â ±¸¼º ºÎºÐÀ¸·Î ½ÅÈ£ ¶Ç´Â ¿¡³ÊÁöÀÇ ÃâÀÔ±¸·Î ÀÌ¿ëµÇ´Â °Í. 11. ´ë±Ô¸ð ÁýÀû ȸ·Î (large scale integration(LSI)) ´ë±Ô¸ð ÁýÀûÈÇÑ ÁýÀû ȸ·Î. 12. ´ë±Ô¸ð ÁýÀûÈ (large scale integration(LSI)) ´Ù¼ö°³ÀÇ ÁýÀû ȸ·Î±ºÀ» ÇÑ ÀåÀÇ ±âÆÇ À§¿¡ »óÈ£ ¹è¼±ÇÏ¿© ´ë±Ô¸ðÀÎ ÁýÀûȸ¦ ÇàÇÏ´Â °Í. ÇùÀǷδ 1000¼ÒÀÚ ÀÌ»óÀÇ °ÍÀº ÀÌ ºÐ·ù¿¡ ¼ÓÇÑ´Ù. 13. µà¾ó ÀζóÀÎ ÆÐÅ°Áö (dual inline package) ´ÜÀÚ°¡ ¹Ø¸é ¶Ç´Â ±×ÀÇ ¿¬Àå Æò¸é¿¡ Á÷°¢ÀÎ 2ÆòÇà Æò¸é»ó¿¡ ÀÖ°í ¶ÇÇÑ ¹Ø¸é¿¡ ¼öÁ÷ ¹æÇâÀ¸·Î µ¹ÃâÇÑ ±¸Á¶¸¦ °®´Â ÁýÀû ȸ·ÎÀÇ ÆÐÅ°Áö. 14. µð¹ÙÀ̽º (device) ´Éµ¿Àû ±â´É,ºñÁ÷¼±Àû ±â´ÉÀ̳ª º¯È¯±â´É µî°ú °°Àº Ư¼öÇÑ ±â´ÉÀ» Æ÷ÇÔÇÏ´Â ºÎÇ° ¶Ç´Â ÀåÄ¡. ¿¹¸¦ µé¸é Æ®·£Áö½ºÅÍ,´ÙÀÌ¿Àµå,Ȧ µð¹ÙÀ̽º ¹× ¸Þ¸ð¸® µð¹ÙÀ̽º µîÀ» ¸»ÇÑ´Ù. 15. ·¹¿ÀÅÃ½Ã¾ó ¼ºÀå (rheotaxial growth) ±âÆÇ À§¿¡ ¿ëÀ¶¸éÀ» ÁغñÇÏ¿© ³õ°í, ¿©±â¿¡ ±â»óÀ¸·Î °áÁ¤ Àç·á¸¦ º¸³»°í ±â°ü ¿Âµµ ¶Ç´Â ¿ëÀ¶¸é Á¶¼ºÀÇ º¯È¿¡ ÀÇÇÏ¿© ¿ëÀ¶¸éÀ» °íȽÃÄÑ °è¼Ó °áÁ¤ ¼ºÀåÀ» ÇàÇÏ´Â °Í. 16. ¸¶½ºÅ© ¸ÂÃã (mask ahgnmeht) Æ÷Åä ¿§Äª °øÁ¤¿¡¼ ¿þÀÌÆÛÀÇ ÆÐÅÏ°ú »çÁø ¸¶½ºÅ©¸¦ °ãÃÄ ¸ÂÃßµçÁö ¶Ç´Â ÁõÂø ½ºÆÛÅ͸µÀÇ °úÁ¤¿¡¼ ¸¶½ºÅ©¿Í ¸¶½ºÅ©³¢¸®¸¦ ¼øÂ÷·Î ¿¬¼ÓÀûÀ¸·Î °ãÃÄ ¸ÂÃß´Â °Í. 17. ¸· ÁýÀû ȸ·Î (film integrated circuit(FIC)) ¹Ú¸· ÁýÀû ȸ·Î¿Í Èĸ· ÁýÀû ȸ·ÎÀÇ ÃÑĪ. 18. ¸ÅÀÔÃþ (buried layer) ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ ³»ºÎ¿¡ Çü¼ºµÈ ÁÖÀ§¿Í´Â µµÀüÀ², µµÀüÇü½ÄÀÌ ´Ù¸¥ ¹ÝµµÃ¼Áß ¶Ç´Â ±Ý¼ÓÃþ. 19. ¸ÖƼĨ (multichip) º¹¼ö°³ÀÇ Ä¨À¸·Î ÀÌ·ç¾îÁø´Ù°í ÇÏ´Â ÀǹÌÀÇ Çü¿ë»ç. 20. ¸ð³ë¸®µñ (monolithic) 1°³ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Ĩ¿¡ ¸¸µé¾îÁ³´Ù´Â ÀǹÌÀÇ Çü¿ë»ç.
21. ¸ð³ë¸®µñ ÁýÀû ȸ·Î (monolithic integrated circuit) ÇϳªÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Ĩ³»¿¡ ¸¸µé¾îÁø ÁýÀûȸ·Î. 22. ¹Ú¸· (thin film) ±âÆÇ À§¿¡ Áø°øÁõÂø, ÀÌ¿Â ½ºÆÛÅ͸µ µî¿¡ ÀÇÇÏ¿© ¾ò¾îÁö´Â ¸·. ºñ °í ¸· µÎ²²´Â ´Ü¿øÀÚÃþ, ´ÜºÐÀÚÃþÀÇ °Í¿¡¼ 5um±îÁöÀÇ °Í. 23. ¹Ú¸· ÁýÀû ȸ·Î (thick film integrated circuit) ±âÆÇ À§¿¡ ±¸¼ºµÈ ȸ·Î ¼ÒÀÚ¿Í ÀÌÀÇ »óÈ£ Á¢¼ÓÀÌ ¹Ú¸·À¸·Î ÀÌ·ç¾îÁø ÁýÀû ȸ·Î. 24. ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀû ȸ·Î (semiconductor integrated circuit(SIC ¶Ç´Â SCIC)) Çϳª ¶Ç´Â ±× ÀÌ»óÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¸¸µé¾îÁø ȸ·Î ¼ÒÀÚ¸¦ »óÈ£ Á¢¼ÓÇÑ ÁýÀû ȸ·Î. 25. ¹ÝÀÀ ½ºÆÛÅ͸µ (reactive sputtering) È°¼º°¡½º ºÐÀ§±â³»¿¡¼ ¼ÒÀç, ¿¹¸¦ µé¸é ±Ý¼ÓÀ» ½ºÆÛÅ͸µÇÏ¿© ¸·»óÅÂÀÇ ¹ÝÀÀ »ý¼º¹°À» ¸¸µå´Â °Í. 26. º¹ÇÕ ºÎÇ° (composite part) º¹¼ö°³ÀÇ ºÎÇ°À» ±âÆÇ À§³ª ±âÆdz»¿¡ ¶Ç´Â ÆÐÅ°Áö³»¿¡ ¸¸µé¾î ³ÖÀº ±¸Á¶ÀÇ °ÍÀ¸·Î, ÀÓÀÇÀÇ È¸·Î¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â ºÎÇ°. 27. º»µù Æеå (bonding pad) ÆÐÅ°Áö ÀÎÃâ¼± ¶Ç´Â ÆÐÅ°Áö ÀÎÃâ¼±¿¡ Á¢¼ÓµÈ °¡´Â ±Ý¼Ó¼±À» Á¢ÂøÇϱâ À§ÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ Ĩ À§¿¡ ½ÂÂøµÈ ±Ý¼Ó ¹Ú¸·¿¡ ÀÇÇÑ ¼Ò¸éÀûÀÇ Àü±Ø. 28. ºÎÇ° (part) Æ®·£Áö½ºÅÍ, Äܵ§¼, ½ºÀ§Ä¡, ³ª»ç µî ÇϳªÀÇ ±â´Éü¸¦ ÇÏµå ¿þ¾î·Î º» °æ¿ìÀÇ ±¸¼º ºÎºÐ. 29. ºÐ¸®,°Ý¸®[ÁýÀûȸ·Î¿¡¼ÀÇ] (isolation[in an integrated circuit]) ÁýÀû ȸ·ÎÀÇ ±¸¼º ºÎºÐ µîÀÌ ¼·ÎÀÇ ¿µÇâÀ» ¹ÞÁö ¾Êµµ·Ï ÇÏ´Â °Í. 30. ºê·¹µå º¸µå ¼³°è (bread noard design) °³º° ºÎÇ°µîÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ¸ñÀûÀ¸·Î ÇÏ´Â ÁýÀûȸ·Î¿Í µ¿µîÇÑ ±â´ÉÀ» °®´Â ȸ·Î¸¦ ¸¸µé°í, ´çÇØ ÁýÀûȸ·Î¸¦ Æò°¡ ¼³°èÇÏ´Â °Í.
31. ºö ¸®µå (beam lead) Ĩ À§ Àü±ØÀ¸·ÎºÎÅÍÀÇ ¹è¼±¿ë ¸®À̵带 ¹Ì¸® ¿þÀÌÅÍ À§¿¡ µµ±Ý µî¿¡ ÀÇÇÏ¿© Çü¼ºÇÏ¿© ³õ°í ºÒ¿ëºÎºÐÀ» Á¦°ÅÇÏ¿© ¾ò¾îÁö´Â ºö¸ð¾çÀÇ ¸®À̵å. 32. »óº¸Çü (complementary) ±Ø¼ºÀÌ ´Ù¸¥ ¼ÒÀÚ¸¦ Á¶ÇÕÇÑ È¸·Î ¶Ç´Â ±¸Á¶¸¦ ³ªÅ¸³»´Â Çü¿ë»ç. 33. ¼ºê½Ã½ºÅÛ (subsystem) ½Ã½ºÅÛÀÇ ÀϺκÐÀ¸·Î,±× ºÎºÐÀû ±â´ÉÀ» °®°í ÀÖ´Â °Í. 34. ¼Ò±Ô¸ð ÁýÀû ȸ·Î (small scale integrated circuit(SSI)) ¼Ò±Ô¸ð ÁýÀûÈÇÑ ÁýÀûȸ·Î. 35. ¼Ò±Ô¸ð ÁýÀûÈ (small scale integration circuit(SSI)) Áß±Ô¸ð ÁýÀûÈ º¸´Ùµµ Á¤µµ°¡ ³·Àº ÁýÀûȸ¦ ÇàÇÏ´Â °Í. ºñ °í ÇùÀǷδ 100¼ÒÀÚ ¹Ì¸¸ÀÎ °ÍÀº ÀÌ ºÎ·ù¿¡ ¼ÓÇÑ´Ù. 36. ¼ÒÀÚ (element) ºÎÇ° ¶Ç´Â ÀåÄ¡¸¦ ÇϳªÀÇ ±â´Éü·Î º» °æ¿ì, ±× ±â´Éü¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â ´ÜÀ§. 37. ½ºÆ¼Ä¡ º»µù (stitch bonding) ¸®À̵弱¿¡ ¿ ¶Ç´Â ÃÊÀ½ÆÄ Áøµ¿À» °¡ÇÏ¸é¼ °¡¾ÐÇÏ´Â °Í¿¡ ÀÇÇÏ¿© ¿¬¼ÓÀûÀ¸·Î ¾ÆÃë ¸ð¾çÀ¸·Î Á¢ÂøÇÏ´Â °Í. 38. ½ºÆÛÅ͸µ (sputtering) ±Û·Î¿ì ¹æÀüÀ¸·Î °¡½º ÀÌ¿ÂÀÇ Ãæµ¹¿¡ ÀÇÇÏ¿© Àü±Ø Àç·á¸¦ ¹æÃâ½ÃÄÑ ´Ù¸¥ ¹°ÁúÀÇ Ç¥¸é¿¡ Àü±Ø Àç·áÀÇ ¸·À» ¸¸µå´Â °Í. 39. ½Ã½ºÅÛ (system) ¸î°³ÀÇ È¸·Î, µð¹ÙÀ̽º, ºÎÇ° µîÀ» Á¶ÇÕÇÏ¿© ÇÊ¿äÇÑ ±â´ÉÀ» ½ÇÇöÇÑ ÁýÇÕü·Î¼, ÀÌ°ÍÀ» ±â´É¸é¿¡¼ º¸¾ÒÀ» ¶§ÀÇ È£Äª. 40. ½ÇÀå ¹Ðµµ (packaging density) ´ÜÀ§ üÀû Áß¿¡ ½ÇÀåµÇ´Â ºÎÇ° ¶Ç´Â ¼ÒÀÚÀÇ ¼ö ºñ °í ºÎÇ° ¹Ðµµ(component density)¶ó°í ÇÒ ¶§µµ ÀÖ´Ù
41. ½ÇÀåÇÑ´Ù (package(µ¿»ç)) ±¸¼º ºÎºÐÀ» ¹èÄ¡, Á¢¼ÓÇÏ´Â °Í. 42. ½ÇÅ© ½ºÅ©¸®´× (silk screening) ±âÆÇ À§¿¡ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ÇÁ¸°Æ®ÇÏ´Â °æ¿ì °ö°í °¡´Â ¸ÁÀ» ÅëÇÏ¿© °¨±¤¼º µµ·á, µµÀü¼º µµ·á µîÀ» ¹Ù¸£´Â °Í. ºñ °í ¸ÁÀ¸·Î´Â º¸Åë ½ÇÅ©, ½ºÅ×Àη¹½º °ÀÌ »ç¿ëµÈ´Ù. 43. ¾ÆÀÏ·£µå (island) ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀû ȸ·ÎÀÇ ±âÆdz»¿¡¼ Àü±âÀûÀ¸·Î ±âÆÇ°ú´Â ºÐ¸®µÈ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ºÎºÐÀ» ¸»ÇÑ´Ù. 44. ¿¡ÇÇÅÃ½Ã¾ó ¼ºÀå (epitaxial growth) ±âÆÇ°áÁ¤ À§¿¡ ±â»ó, ¶Ç´Â ¾×»óÀ¸·Î °áÁ¤ÃàÀ» ¸ÂÃß¾î °áÁ¤ ¼ºÀåÀ» ÇàÇÏ´Â °Í 45. ¿¡ÇÇÅýþó Ç÷¡³ª ±â¼ú (epitaxial planar technique) ¿¡ÇÇÅÃ¼È ¼ºÀå°ú Ç÷¡³ª ±â¼úÀÇ Á¶ÇÕ. 46. ¿øÅëÇü ÆÐÅ°Áö (similar to TO-5 package) ¿ë±â º»Ã¼°¡ ¿øÅëÇü ¶Ç´Â ¹æÇ⼺À» °®°Ô Çϱâ À§ÇÏ¿© ±× ÀϺθ¦ Àß¶ó ³½ ¸ð¾çÀ¸·Î ´ÜÀÚ°¡ ¹Ø¸é¿¡¼ ±× ¸é¿¡ ¼öÁ÷À¸·Î³ª¿Í ÀÖ¾î ÀÏÁ¤ÇÑ ¿øµÑ·¹ À§¿¡ ¹è¿ µÇ¾î ÀÖ´Â °Í. 47. ¿þÀÌÆÛ(¹ÝµµÃ¼ÀÇ) (wafer(of a semi-conductor)) ´Éµ¿¼ÒÀÚ, ¼öµ¿¼ÒÀÚ³ª ÁýÀû ȸ·Î¸¦ ¸¸µé¾î ºÙÀÎ ¶Ç´Â ¸¸µé¾î ºÙÀÎ °ÍÀ» ÀüÁ¦·Î ÇÑ ¿¯Àº ¹ÝµµÃ¼ ÆÇ. 48. Àü°èÈ¿°ú Æ®·£Áö½ºÅÍ (field effect transistor(FET)) ´Ù¼ö ij¸®¾î¿¡ ÀÇÇÑ Àü·ù Åë·ÎÀÇ ÄÜ´öÅϽº¸¦ ij¸®¾îÀÇ È帧¿¡ Á÷°¢ÀÎ ÀüÁ¦¿¡ ÀÇÇÏ¿© Á¦¾îÇÏ´Â Æ®·£Áö½ºÅÍ. 49. Àü±Ø (electrode) ºÎÇ°ÀÇ Æ¯Á¤ÇÑ ¿µ¿ª¿¡¼ Àü±âÀû ±â´ÉÀ» ²¨³»¾î,´Ù¸¥ °Í°úÀÇ Àü±âÀû Á¢¼ÓÀ» ÇàÇÏ´Â µµÃ¼Àû ±¸¼º ºÎºÐ. 50. Àý¿¬Ãþ ºÐ¸® (dielectric isolation) ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀû ȸ·ÎÀÇ °¢ ¼ÒÀÚ¸¦ Àý¿¬Ãþ. ¿¹¸¦ µé¸é SIO2µîÀ¸·Î ºÐ¸®½ÃÅ°´Â °Í.
51. Áß±Ô¸ð ÁýÀû ȸ·Î (medium scale integrated circuit(MSI)) Áß±Ô¸ð ÁýÀûÈÇÑ ÁýÀû ȸ·Î. 52. Áß±Ô¸ð ÁýÀûÈ (medium scale integration(MSI)) ´ë±Ô¸ð ÁýÀûȺ¸´Ùµµ Á¤µµ°¡ ³·Àº ÁýÀûȸ¦ ÇàÇÏ´Â °Í. ÇùÀǷδ 100¼ÒÀÚ ÀÌ»óÀÌ°í, 1000¼ÒÀÚ ¹Ì¸¸ ÀÎ °ÍÀº ÀÌ ºÎ·ù¿¡ ¼ÓÇÑ´Ù. 53. Áø°øÁõÂø (vacuum evaporation) Áø°ø³»¿¡¼ ¹°ÁúÀ» °¡¿½ÃÄÑ ÀÌ°ÍÀ» Áõ¹ß½ÃÅ°°í ±× Áõ¹ß¹°À» ´Ù¸¥ ¹°ÁúÀÇ Ç¥¸é¿¡ ºÙ°ÔÇÏ¿© ¸·À» ¸¸µå´Â °Í. ºñ °í ´Ü¼øÈ÷ ÁõÂøÀ̶ó ºÎ¸¥´Ù. 54. ÁýÀû ȸ·Î (integrated circuit) µÎ°³ ¶Ç´Â ±× ÀÌ»óÀÇ È¸·Î ¼ÒÀÚÀÇ ¸ðµÎ°¡ ±âÆÇÀ§ ¶Ç´Â ±âÆdz»¿¡ ÁýÀûµÈ ȸ·Î·Î ¼³°è¿¡¼ Á¦Á¶, ½ÃÇè, ¿î¿ë¿¡ À̸£±â±îÁö °¢ ´Ü°è¿¡¼ ÇϳªÀÇ ´ÜÀ§·Î¼ Ãë±ÞÇÏ´Â °Í. Çö½ÃÁ¡¿¡¼ ÁÙ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú, ¸· Á¦Á¶ ±â¼úÀÌ »ç¿ëµÈ´Ù. 55. ÁýÀûÈ (integration) ±â´ÉÀ» Á÷°áÇÏ´Â °ÍÀ» ¸ñÀûÀ¸·Î ¸¹Àº ±¸¼ººÎºÐÀ» ¼³°è¿¡¼ Á¦Á¶, ½ÃÇè, ¿î¿ë¿¡ À̸£±â±îÁö °¢ ´Ü°è¿¡¼ ÇϳªÀÇ ´ÜÀ§·Î¼ Ãë±ÞÇÏ´Â »óÅ·Π°áÇÕÇÏ¿© ±â±â,ȸ·Î µîÀ» ¸¸µå´Â °Í. ¶ÇÇÑ Çö½ÃÁ¡¿¡¼ ÁÖ·Î ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú, ¸·Á¦Á¶ ±â¼úÀÌ »ç¿ëµÈ´Ù. 56. ÃʼÒÇü ±¸¼º ºÎºÐ (microcom ponent) Á¾·¡ÀÇ °³³ä¿¡ ºñÇÏ¿© ÇöÀúÇÏ°Ô ¼ÒÇüÀÎ ±¸¼º ºÎºÐ 57. ÃʼÒÇü ¼ÒÀÚ (microelement) Á¾·¡ÀÇ °³³ä¿¡ ºñÇÏ¿© ÇöÀúÇÏ°Ô ¼ÒÇüÀÎ ¼ÒÀÚ 58. ÃʼÒÇü ÀüÀÚ °øÇÐ (microelectronics) ÃʼÒÇü ÀüÀÚ ±â¼úÀ» Ãë±ÞÇÏ´Â °øÇÐ. 59. ÃʼÒÇü ÀüÀÚ ±â¼ú (microelectronics) ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¾ò¾îÁö´Â °Í º¸´Ù ´õ¿í ¼ÒÇüÈÀÇ Á¤µµ°¡ Áøº¸µÈ ÀüÀÚ È¸·ÎÀÇ ½ÇÇö ¶Ç´Â ÀÌÀÇ ÀÌ¿ë¿¡ °ü·ÃµÈ ±â¼úÀÇ ÃÑĪ. ºñ °í 1cm3´ç 3°³ ÀÌ»óÀÇ ºÎÇ°, ¶Ç´Â ȸ·Î¼ÒÀÚ ¹Ðµµ¸¦ °®´Â °ÍÀº ÀÌ ºÎ·ù¿¡ µé¾î°£´Ù
60. ÃʼÒÇü ÀüÀÚ ¹æ½Ä (microelectronic system) ÃʼÒÇü ÀüÀÚ ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¿© Á¶¸³ÇÏ´Â ¹æ½Ä.
61. ÃʼÒÇü ÀüÀÚ È¸·Î (microelectronic circuit) ÃʼÒÇü ÀüÀÚ ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¿© Á¶¸³ÇÑ È¸·Î ºñ °í "ÃʼÒÇü ȸ·Î"·Î ¾àĪÇÒ ¶§µµ ÀÖ´Ù. Á¾·¡ÀÇ "ÃʼÒÇü ±¸Á¶"´Â ÀÌ°Í¿¡ Æ÷ÇԵȴÙ. 62. ÃʼÒÇü ÀüÀÚ°è (microelectronic system) ÃʼÒÇü ÀüÀÚ ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¿© Á¶¸³ÇÑ °è. 63. ÃʼÒÇü Á¶¸³ ȸ·Î (microassembly) °³º° ºÎÇ°°ú °³º° ºÎÇ°³¢¸®, ÁýÀûȸ·Î¿Í ÁýÀûȸ·Î ³¢¸® ¶Ç´Â °³º° ºÎÇ°°ú ÁýÀûȸ·Î¸¦ Á¶ÇÕÇÏ¿© ±¸¼º ºÎÇ°À» ±³È¯ ºÒ´ÉÀÇ ÇüÅ·ΠÁ¶¸³ÇÑ È¸·Î·Î ÀÌ°ÍÀ» Á¶¸³À̳ª ½ÇÀåÇϱâ ÀÌÀü¿¡, °³°³¿¡ ´ëÇÏ¿© ½ÃÇè ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Í.Á¾·ÊÀÇ"°í¹Ðµµ Á¶¸³"Àº ÀÌ¿¡ Æ÷ÇÔ µÈ´Ù. 64. ÃÊÀ½ÆÄ º»µù (ultrasonic bonding) ±Ø¼¼¼±, ¸®À̵弱, Ĩ µî¿¡ ÃÊÀ½ÆÄ Áøµ¿À» °¡ÇÏ¸é ¾ÐÂøÇÏ´Â °Í. 65. Ĩ (chip) ¼öµ¿¼ÒÀÚ, ´Éµ¿¼ÒÀÚ³ª ÁýÀûȸ·Î°¡ ¸¸µé¾î ºÙ¿©Áø ¶Ç´Â ¸¸µé¾î ºÙÀÏ °ÍÀ» Àüü·Î ÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¶Ç´Â Àý¿¬À» ÀÇ ¼¼Æí. ºñ °í ´ÙÀ̶ó°íµµ ÇÑ´Ù. 66. ĸ½¶ ºÀÀÔ (encapsulation) ¿ÜºÎ ȯ°æÀ¸·ÎºÎÅÍ º¸È£Çϱâ À§ÇÏ¿© ´Üµ¶ ¶Ç´Â º¹¼ö°³ÀÇ µð¹ÙÀ̽º ºÎÇ° ÁýÀûȸ·Î¸¦ ´ÜÀÚ¸¦ °®´Â ÆÐÅ°Áö¿¡ ³Ö´Â °Í. 67. ÆÐÅ°Áö (package(¸í»ç)) ±¸¼ººÎºÐÀ» ¹èÄ¡, Á¢¼Ó º¸È£Çϱâ À§ÇÑ ´ÜÀÚ¸¦ °®´Â ¿ë±â¸¦ ¸»Çϴµ¥ ½Ã½ºÅÛÀ¸·Î¼ ½ÇÀåµÈ µð¹ÙÀ̽º±ºÀ» ÀÌ·ç¾îÁö´Â ¼ºê½Ã½ºÅÛ. 68. ÆäÀ̽º ´Ù¿î º»µù, ÆäÀ̽ºº»µù (face down bonding, face bonding) ÁýÀû ȸ·Î¿ë ¹ÝµµÃ¼ Ĩ¿¡ ¹Ì¸® ºÙ¿©Áø Ç¥¸é Àü±Ø ¶Ç´Â ¹è¼±¿ë ¸®À̵å¿Í Àý¿¬ ±âÆÇ À§¿¡ Çü¼ºµÈ ¹è¼±¿ë Àü±ØÀ» Ç¥¸éÀ» ¼·Î ´ëÇâ½ÃÄÑ ¹ÐÂøÇÏ°í Àü±âÀûÀ¸·Î Á¢¼ÓÇÏ´Â °Í. 69. Ç÷¡³ª ±â¼ú (planar technique) ¼±Åà Ȯ»ê, ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ, ±¤½Ä°¢µîÀÇ ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ±× Ç¥¸éÀÌ ÆòźÇÏ°Ô µÇµµ·Ï ±âÆÇ °áÁ¤ÀÇ µ¿ÀÏ Æò¸é»ó¿¡ ¼ÒÀÚ¸¦ Çü¼ºÇÏ´Â °Í. 70. Ç÷§ ÆÐÅ°Áö (flat package) ¹Ø¸é ¹× À¸éÀÌ ÆòÇà ÆòÆÇ ¸ð¾çÀÌ°í ¶ÇÇÑ ´ÜÀÚ°¡ ÆòÆÇ¿¡ ÆòÇàÀ¸·Î µ¹ÃâÇÑ ÁýÀûȸ·ÎÀÇ ÆÐÅ°Áö 71. Çø³ Ĩ º»µù (flip cnip bonding) ÆäÀ̽º´Ù¿î º»µù Áß ¹ÝµµÃ¼ Ĩ À§ÀÇ Ç¥¸éÀü±ØÀ» Àý¿¬±âÆÇ ¶Ç´Â ÆÐÅ°ÁöÀÇ ¹è¼±¿ë Àü±Ø¿¡ Á÷Á¢ Á¢¼ÓÇÏ´Â °Í. 72. È¥¼º ÁýÀû ȸ·Î (hybrid integrated circuit) µÎ°³ ÀÌ»ó ´Ù¸¥ Á¾·ùÀÇ ÁýÀû ȸ·ÎÀÇ Á¶ÇÕ ¶Ç´Â Çϳª ÀÌ»óÀÇ µ¶¸³µÈ µð¹ÙÀ̽º³ª ºÎÇ°°ú Çϳª ÀÌ»óÀÇ ÁýÀû ȸ·Î·Î ÀÌ·ç¾îÁö´Â ȸ·Î. 73. È®»êÀúÇ× (diffused resistor) È®»êÃþÀÇ ÃþÀúÇ×À» ÀÌ¿ëÇÑ ÀúÇ×¼ÒÀÚ. ºñ °í ÃþÀúÇ×À̶õ ±× ÃþÀÇ ¸éÀû ÀúÇ×À» °¡¸®Å²´Ù. 74. ȸ·Î (circuit) ¼ÒÀÚÀÇ ±â´ÉÀ» °áÇÕÇÏ¿© ¼Ò¿äÀÇ ½ÅÈ£. ¶Ç´Â ¿¡³ÊÁö ó¸® ±â´ÉÀ» °®°Ô ÇÑ °Í. 75. Èĸ· (thick film) ±âÆÇ À§¿¡ À×Å©»ó ÆäÀ̽ºÆ® µîÀ» ¹ß¶ó ½ºÇÁ·¹ÀÌ, ¶Ç´Â ÀμâÇÑ ÈÄ ¼ÒºÎ ¹æ¹ýµî¿¡ ÀÇÇÏ¿© ¾ò¾îÁö´Â ¸·. ºñ °í ¸· µÎ²²´Â ´ë·« 5umÀÌ»óÀÎ°Í 76. Èĸ· ÁýÀû ȸ·Î (thick film integrated circuit) ±âÆÇ À§¿¡ ±¸¼ºµÈ ȸ·Î ¼ÒÀÚ¿Í ÀÌÀÇ »óÈ£ Á¢¼ÓÀÌ Èĸ·À¸·Î ÀÌ·ç¾îÁø ÁýÀû ȸ·Î. 77. MIS ÁýÀûȸ·Î (metal insulator semiconductor integrated circuit(MIS IC)) Àý¿¬¸·¿¡ ÀÇÇÏ¿© Àü±âÀûÀ¸·Î Àü·ù Åë·Î·Î Àý¿¬µÈ °ÔÀÌÆ® Àü±Ø¿¡ Àü¾ÐÀ» °É¾î Àü·ù Åë·Î¸¦ Á¦¾îÇÏ´Â ±¸Á¶ÀÇ µð¹ÙÀ̽º·Î ±¸¼ºµÈ ÁýÀû ȸ·Î. 78. MIS Æ®·£Áö½ºÅÍ (MIS transistor(MIS T ¶Ç´Â MIS FET)) Àý¿¬¸·¿¡ ÀÇÇÏ¿© Àü±âÀûÀ¸·Î Àü·ù Åë·Î·Î Àý¿¬µÈ °ÔÀÌÆ® Àü±Ø¿¡ Àü¾ÐÀ» °É¾î Àü·ù Åë·Î¸¦ Á¦¾îÇÏ´Â ÀüÁ¦È¿°ú Æ®·£Áö½ºÅÍ.
79. MOS ÁýÀû ȸ·Î (metal oxide semiconductor integrated circuit (MOS IC)) »êȸ·¿¡ ÀÇÇÏ¿© Àü±âÀûÀ¸·Î Àü·ù Åë·Î·Î Àý¿¬µÈ °ÔÀÌÆ® Àü±Ø¿¡ Àü¾ÐÀ» °É¾î, Àü·ù Åë·Î¸¦ Á¦¾îÇÏ´Â ±¸Á¶ÀÇ µð¹ÙÀ̽º·Î ±¸¼ºÇÑ ÁýÀû ȸ·Î. 80. MOS Æ®·£Áö½ºÅÍ (MOS transistor(MOS T ¶Ç´Â MOS FET)) »êȸ·¿¡ ÀÇÇÏ¿© Àü±âÀûÀ¸·Î Àü·ù Åë·Î·ÎºÎÅÍ Àý¿¬µÈ °ÔÀÌÆ® Àü±Ø¿¡ Àü¾ÐÀ» °É¾îÀü·ù Åë·Î¸¦ Á¦¾îÇÏ´Â ÀüÁ¦È¿°ú Æ®·£Áö½ºÅÍ. |