■ KS A 3017 진동 용어(진동 펌프 및 관련 용어)

1. 가스 밸러스트(진공)펌프  (gas ballast(vacuum) pump)
 
  적당량의 기체를 압축과정에서 펌프내에 도입하고 펌프 내부에서 응축성 기체가 응축되지 않도록 한 용적이송식 진공펌프.
 
2. 감도계수  (sensitivity coefficient)
 
  (기호 : s) 어떤 압력일 때 진공계에 지시된 읽기의 변화를, 해당하는 압력변화로 나눈 것.
 
3. 건식 회전(진공)펌프  (dry-sealed vacuum pump)
 
  기름이나 액체를 사용하지 않고 기밀을 유지하는 용적이송식 진공펌프.
 
4. 게터 이온 펌프  (getter ion pump)
 
  전계 · 자계에 의한 기체분자의 여기, 이온화 등을 이용하는 게터 펌프.
 
5. 게터 펌프  (getter pump)
 
  화학적으로 활성인 고체표면의 흡착작용(게터작용)을 이용하는 저장식 진공 펌프.
 
6. 고진공 유지 펌프 어펜디지 펌프  (appendage vacuum pump)
 
  배기된 용기내의 압력을 저압으로 유지하기 위하여 주 펌프를 대신하여 사용되는 보조적인 진공 펌프.
 
7. 고진공 펌프  (high vacuum pump)
 
  고진공 영역에서 작동하는 진공펌프.
 
8. 공기 도관  (vapour tube ; vapour pipe ; vapour chimney)
 
  증기 분사 진공 펌프에서 증기를 보일러에서 노즐로 유도하는 도관.
 
9. 기름 분리기  (oil separator)
 
  진공 펌프의 배기구에 있어서 피배기 기체에 의하여 수송되는 기름의 손실을 감소시키기 위한 장치.
 
10. 기름 순화기  (oil purifier)
 
  펌프유로부터 여러가지의 오염물질을 제거하기 위한 장치.
 11. 기름회전(진공)펌프  (oil-sealed rotary vacuum pump)
 
  기름에 의하여 로터, 스테이터, 날개판 등의 부품 사이의 기밀 및 무효 공간의 감소를 도모하고 있는 용적이송식 진공펌프.
 
12. 기체 저장식 진공펌프  (entrapment vacuum pump ; capture vacuum pump)
 
  표면에서의 흡착 또는 응축 등에 의하여 기체 분자를 포착하여 저장함으로써 배기 작용을 하는 진공 펌프.
 
13. 기체 제트(진공)펌프 공기이젝터 (펌프)  (gas jet vacuum pump)
 
  작동유체가 비응축성 기체(보통은 공기)인 이젝터 진공펌프.
 
14. 나진공계  (nude gauge)
 
  진공계에 직접 삽입되는 감압소자를 갖춘 외위기(外圍器)가 없는 측정자.
 
15. 날개판 베인  (vane ; blade)
 
  용적 이송식 진공 펌프에서 스테이터와 로터 사이의 공간을 구분하는 미끄럼판.
 
16. 냉각 트랩  (cold trap)
 
  냉각면에 있어서의 응축작용을 이용하는 트랩.
 
17. 노즐  (vozzle)
 
  증기 분사 진공 펌프에서 작동 유체의 흐름을 한곳에 모아서 증기 분사류를 형성함으로써 배기작용을 얻기 위한 부품.
 
18. 노즐 어셈블리  (nozzle assembly)
 
  증기 분사 진공 펌프에서 노즐과 증기 도관으로 구성되는 부분.
 
19. 노즐의 목  (nozzle throat)
 
  노즐의 최소 단면적 부분.
 
20. 노즐의 틈새  (nozzle clearance)
 
  노즐의 둘레와 펌프 케이스 내벽과의 최소의 틈새.
 21. 노즐의 틈새 면적  (nozzle clearance area)
 
  노즐 틈새의 면적.
 
22. 디퓨저  (diffuser)
 
  이젝터 진공 펌프의 노즐 앞면에 배치되어 있는 원추모양의 수렴부 및 이에 연속해 있는 "목", 발산부(벤투리)의 총칭.
 
23. 디퓨저의 목  (diffuser throat)
 
  디퓨저의 최소 단면적 부분.
 
24. 러핑 펌프  (roughing vacuum pump)
 
  대기압으로부터 주 펌프가 작동할 수 있는 압력까지 진공계를 배기하기 위한 진공 펌프.
 
25. 루트(진공)펌프  (Roots vacuum pump)
 
  펌프 케이스 속에서 서로 반대 방향으로 회전하는 한쌍의 누에고치 모양의 로터에 의하여 기체수송하는 용적이송식 진공펌프.
 
26. 방출 밸브  (discharge valve)
 
  용적 이송식 진공 펌프에서 압축된 기체를 방출하기 위한 자동밸브.
 
27. 배기구  (outlet)
 
  펌프의 기체 배출구.
 
28. 배압  (backing pressure)
 
  (기호 : Pbc, 단위 : Pa ) 기체를 대기압 이하의 압력공간에 배출하는 경우 진공 펌프의 배기구에서의 압력.
 
29. 배압 유지 펌프  (holding vacuum pump)
 
  주 펌프의 가스 부하가 작은 경우 정규의 보조 펌프를 대신하여 주 펌프의 배압을 유지하기 위하여 사용되는 보조 펌프.
 
30. 배플  (baffle)
 
  증기 분사 진공 펌프의 흡기구 및 배기구에 부착되어 작동액 증기의 역류 및 유출을 방지하기 위한 차단판.
31. 보조펌프  (backing vacuum pump)
 
  다른 펌프의 배압을 임계치 이하로 유지하기 위한 진공 펌프.
 
32. 부스터(진공)펌프  (booster vacuum pump)
 
  중간 압력 영역에서의 배기량을 증가시키거나 또는 배기계 각부의 단계적 압력분포를 개선하여 보조펌프에 대한 체적유량을 감소시키기 위하여 주 펌프와 보조 펌프사이에서 사용하는 진공 펌프.
 
33. 분류형 기름 확산 펌프  (fractionating diffusion pump)
 
  펌프 작동액의 분별 증류가 실시되어 고진공쪽 노즐에는 저증기압 성분이, 저진공쪽 노즐에는 고증기압 성분이 차례로 공급되는 다단식의 기름 확산 펌프.
 
34. 분압(진공)계, 진공분석계  (partial pressure vacuum gauge ; partial pressure analyzer)
 
  혼합기체의 성분에 대한 분압을 측정하는 진공계.
비고 : 현재 사용되고 있는 분압진공계의 대부분은 질량분석계의 일종이다.
 
35. 분자 펌프  (molecular drag pump)
 
  고속회전하는 로터에 의하여 그 표면에 충돌한 기체분자에 운동량을 주어 기체수송을 하는 운동량 수송식 진공펌프. 분자 흐름영역에서 유효하게 작동한다.
 
36. 비감도계수  (relative sensitivity factor)
 
  (기호 : r) 진공계의 어떤 기체에 대한 감고계수와 그 진공계의 동일동작 조건하에서 동일압력의 질소에 대한 감소계수와의 비.
 
37. 서블리메이션 펌프  (sublimation pump ; evaporation pump)
 
  연속 또는 비연속적인 승화, 증발에 의하여 작성된 게터작용을 갖는 면(게터면)을 이용하는 게터 펌프.
 
38. 스퍼터 이온 펌프  (sputter ion pump)
 
  음극 스퍼터링에 의하여 게터면을 갱신하는 게터 이온 펌프.
 
39. 시동 압력  (starting pressure)
 
  진공 펌프가 손상되는 일없이 시동할 수 있고 또한 정상적인 배기 작용이 얻어지는 압력.
 
40. 압력계(기체의)  (pressure gauge)
 
  기체, 증기의 압력을 측정하는 계기.
 41. 압축비  (compression ratio)
 
  (기호 : r) 펌프에 기체를 유입시켰을 때의 배압의 증가분을 흡입압의 증가분으로 나눈 값.
 
42. 액체 제트(진공)펌프 물이젝터(펌프)  (liquid jet vacuum pump)
 
  작동유체가 액체 (보통은 물)인 이젝터 진공펌프.
 
43. 액체밀봉 진공펌프  (liquid ring vacuum pump)
 
  많은 날개를 가진 편심로터의 회전에 의하여 액체를 스테이터 내벽에 밀어붙여서 밀봉하고 기체 수송을 하는 용적이송식 진공펌프.
 
44. 역이동  (back-migration)
 
  진공 펌프의 작동액 분자가 용기의 벽면위에서 재증발 및 표면 확산에 의하여 고진공쪽으로 이동하는 현상.
 
45. 역확산  (back-diffusion of gas)
 
  증기 분사 진공 펌프의 작동 상태에 있어서 펌프의 배기구에서 흡기구로 향하는 피배기 기체의 이동.
 
46. 요동 피스톤형 기름회전(진공)펌프  (rotary plunger vacuum pump)
 
  스테이터 기밀부를 미끄럼 운동하는 플런저에 고정된 원통의 외면이 편심로터의 회전에 의한 플런저의 상하요동에 따라 스테이터 내면을 미끄럼 운동하여 플런저, 원통 및 스테이터로 둘러싸인 공간의 용적을 변화시켜서 기체수송을 하는 용적이송식 진공펌프.
 
47. 용적이송식 진공펌프  (positive displacement (vacuum) pump)
 
  피스톤, 로터, 날개판, 밸브 등의 기계적 부분에 의하여 분리된 공간에 수용된 기체를 이 계의 주기 운동에 의하여 수송하는 펌프. 대부분의 펌프는 기체의 압축과정을 거친다. 용적이송식 펌프는 왕복동식 및 회전식의 두가지로 대별한다(부표 1 참조).
 
48. 운동량 수송식 진공펌프  (kinetic vacuum pump)
 
  기체에 특정방향의 운동량을 주어 연속적으로 기체수송을 하는 진공펌프. 유체 작동방식과 기계적 방식의 두가지로 대별한다(부표 1 참조).
 
49. 이젝터(진공)펌프  (ejector vacuum pump)
 
  고속으로 분출하는 작동유체의 말려들기 작용에 의하여 기체수송을 하는 운동량 수송식 진공펌프. 점성 흐름 또는 중간 흐름영역에서 유효하게 작동한다.
 
50. 임계 배압  (critical backing pressure)
 
  (기호 : Pbc, 단위 : Pa ) 증기 분사류 또는 증기 분사 진공 펌프가 정상적인 기능을 유지할 수 있는 최대의 배압.
비고 펌프의 배기량에 관계하는 값이다.
 
51. 자기 정화형 기름 확산 펌프  (self-purifying diffusion pump)
 
  펌프 작동액의 분해 등에 의한 불순물이 보일러에 되돌아가는 것을 방지하는 기름 확산 펌프.
 
52. 저진공 펌프  (rough vacuum pump)
 
  저진공 영역에서 작동하는 진공 펌프.
 
53. 전리진공계 계수  (ionization gauge coefficient)
 
  (기호 : S, 단위 : Pa-¹) 주어진 기체에 대해서 전리진공계의 정해진 동작 조건하에서의 이온전류를 이온화에 필요한 전자 전류와 압력과의 곱으로 나눈 것.
 
54. 전압(진공)계  (total pressure vacuum gauge)
 
  기체의 모든 압력을 측정하는 진공계.
 
55. 절대진공계  (absolute vacuum gauge)
 
  다른 진공계를 참조함이 없이 또 기체의 종류에 관계없이 물리량의 측정만으로 압력이 구해지는 진공계.
 
56. 주 펌프  (main process pump)
 
  진공계를 작동 압력까지 배기하고 그 압력을 유지하기 위한 진공 펌프.
 
57. 증기 분사류  (jet)
 
  증기 분사 진공 펌프에서 노즐로부터 분출하는 작동유체의 급격한 흐름.
 
58. 증기 제트(진공)펌프 증기 이젝터(펌프)  (vapor jet vacuum pump)
 
  작동유체가 증기(수증기, 수은증기, 기름 증기 등)인 이젝터 진공 펌프.
 
59. 증기분사(진공)펌프  (vapor pump)
 
  증기의 분사류로 배기 작용을 시키는 운동량 수송식 진공펌프. 분사류의 배기작용의 기구에 의하여 증기 제트 진공 펌프 및 확산 펌프의 구별이 있다.
 
60. 증착 이온 펌프  (evaporation ion pump)
 
  연속 또는 비연속적인 승화, 증발에 의하여 게터면을 갱신하는 게터 이온 펌프.
 
 61. 진공 펌프  (vacuum pump)
 
  진공을 만들거나 또는 유지하기 위한 기기. 기체수송식 진공펌프 및 기체저장식 진공펌프의 두가지로 대별한다(부표 1 참조).
 
62. 진공계  (vacuum gauge)
 
  대기압보다 낮은 기체 · 증기의 압력을 측정하는 계기. 참고 : 보통 사용되는 진공계는 KS A 3014(진공용어)에서 규정하는 뜻에서의 "압력"을 직접적으로 측정하지 않고 특정조건하에서의 압력에 관련된 다른 물리량을 측정하는 것이 많이 있다.
 
63. 질소상당압  (equivalent nitrogen pressure)
 
  진공계의 눈금과 같은 지시를 주는 질소의 압력.
 
64. 차압진공계  (differential vacuum gauge)
 
  가요 막 또는 액주와 같이 압력차를 감지할 수 있는 격리매체를 이용해서 그 양쪽에 걸리는 압력차를 측정하는 진공계.
 
65. 최대 흡입압  (maximum working pressure)
 
  증기 분사 진공 펌프가 정상적인 기능을 유지할 수 있는 흡입압의 최대치.
 
66. 측정자  (gauge head)
 
  어떤 종류의 진공계에 있어서 감압소자를 갖추어서 진공계에 부착하는 부품.
 
67. 캠형 기름회전(진공)펌프  (rotary piston vacuum pump)
 
  편심로터(캠)가 스테이터에 부착되어 있는 미끄럼 날개판에 의하여 눌려지면서 회전하여 날개판, 로터 및 스테이터로 둘러싸인 공간의 용적을 변화시켜서 기체수송을 하는 용적이송식 진공펌프.
 
68. 크라이어 소프션 펌프  (cryosorption pump)
 
  저온에서 유효하게 작용하는 흡착 펌프.
 
69. 크라이어 펌프  (cryopump)
 
  기체분자를 극저온면에 응축 또는 흡착시켜서 포착하는 저장식 진공 펌프.
 
70. 터보 분자펌프  (turbo-molecular pump)
 
  터빈형의 날개를 가진 로터 및 스테이터로 구성된 분자펌프.
71. 터빈 진공펌프  (turbine vacuum pump)
 
  고속회전하는 로터에 의하여 대량의 기체수송을 하는 운동량 수송식 진공펌프. 점성 흐름 영역에서 유효하게 작동한다.
 
72. 트랩  (trap)
 
  바람직하지 않은 기체나 증기의 분압을 물리적 또는 화학적 방법으로 감소시킴과 동시에 그 흐름이나 이동을 방지하기 위한 장치.
 
73. 펌프 작동 증기의 역류  (back-streaming of pump fluid)
 
  증기 분사 진공 펌프의 흡기구를 지나 고진공쪽으로 향하는 펌프 작동액 증기의 이동.
 
74. 펌프 작동액  (pump fluid)
 
  증기 분사 진공 펌프의 작동용 액체.
 
75. 펌프의 도달 압력  (ultimate pressure of a pump)
 
  (기호 : Pu, 단위 : Pa) 진공 펌프계에 기체를 도입하지 않고, 펌프를 장시간 작동시켜 계의 압력의 감소가 거의 무시될 수 있을 정도로 되었을 때의 압력.
 
76. 펌프의 배기량  (throughput of a vacuum pump)
 
  (기호 : Q, 단위 : ㎩ · m3 · s-1) 펌프의 흡기구를 지나 단위시간에 흐르는 기체량.
 
77. 펌프의 배기속도 펌프의 체적유량  (pumping speed ; volume flow rate of a vacuum pump)
 
  (기호 : S, 단위 : 3 · s-1) 펌프의 흡기구를 지나 단위시간에 흐르는 기체의 체적.
 
78. 펌프케이스 펌프케이싱  (pump case)
 
  펌프의 작동부분을 수용하고 있는 용기.
 
79. 피스톤 진공펌프  (piston vacuum pump)
 
  실린더 내에서의 피스톤의 왕복운동에 의하여 기체수송을 하는 용적이송식 진공펌프.
 
80. 확산 이젝터 펌프  (diffusion-ejector pump)
 
  확산 펌프로서 작용하는 노즐과 이젝터 펌프로서 작용하는 노즐을 갖는 다단식의 증기 분사 진공펌프.
 
 
81. 확산 펌프  (diffusion pump)
 
  증기 분사류 중에 확산된 기체 분자에 증기분자가 운동량을 줌으로써 기체 수송이 이루어지는 증기 분사 진공펌프.
비고 : 펌프의 작동 증기로서는 일반적으로 기름 또는 수은 증기가 사용되며 기름 확산 펌프, 수은 확산 펌프 등으로 불리운다.
 
82. 회전(진공)펌프유  (vacuum pump oil)
 
  기름 회전 진공 펌프에서 윤활, 냉각, 기밀 및 무효공간을 감소시키기 위하여 사용하는 기름.
 
83. 회전날개형 기름회전(진공)펌프  (sliding vane rotary vacuum pump)
 
  스프링에 의하여 항상 스테이터에 눌려있는 2개의 날개판을 갖는 로터의 회전에 의하여 날개판, 로터 및 스테이터로 둘러싸인 공간의 용적을 변화시켜서 기체수송을 하는 용적이송식 진공펌프.
 
84. 흡기구  (inlet)
 
  펌프의 기체 흡입구.
 
85. 흡입압  (inlet pressure)
 
  펌프의 흡기구에 있어서의 압력.
 
86. 흡착 펌프, 소프션 펌프  (adsorption pump)
 
  큰 진표면적을 갖는 물질(보기를 들면 다공질 물질)의 흡착작용을 이용하는 저장식 진공펌프.
 
87. 흡착트랩  (sorption trap)
 
  흡착작용을 이용하는 트랩.
 
88. X선 한계  (X-ray limit)
 
  열음극 전리진공계로, 주로 집이온전극에서 방출되는 광전자전류에 대응하는 질소상당압.