■ KS A 3018 진동 용어 (진공계 및 관련 용어)

 1. 가이슬러관  (discharge tube indicator)
 
  한쌍의 전극을 가지고, 그 사이의 진공방전의 색과 모양에 의해서 기체의 압력과 종류의 개략을 나타내는 투명한 유리관구.
 
2. 격막 진공계  (diaphragm gauge)
 
  가요격막을 이용한 압력공간을 구분짓는 탄성 진공계.
 
3. 고주파(질량분석계)형 분압 진공계  (radio frequency mass spectrometer)
 
  일련의 그리드에 의해서 플러스와 마이너스가 교대로 형성된 고주파 전계에 의해서 이온을 선택적으로 가속해서 분리하는 질량분석계형 분압 진공계.
 
4. 냉음극 마그네트 론 진공계  (cold cathode magnetron gauge)
 
  같은 축 원통모양으로 전극을 배치하고 전계에 수직으로 자계를 거는 냉음극 전리진공계.
비고 : 보통은 내부원통을 음극으로 하지만, 이것을 양극으로 한 것은 "냉음극 열마그네크론진공계(cold cathode inverted magnetron gauge)"라 부른다.
 
5. 냉음극 전리 진공계  (cold cathode ionization gauge)
 
  냉음극 방전에 의한 기체의 전리를 이용하는 전리진공계.
 
6. 단극자(질량분석계)형 분압 진공계  (monopole mass spectrometer)
 
  L형전극과 한개의 기둥모양의 전극에 의해서 사극자 질량분석계의 일상한(一象限)에 대응한 전계를 형성하고, 이것에 의해서 이온을 분리하는 질량분석계형 분압진공계.
 
7. 만곡빔 진공계  (bent beam gauge)
 
  이온이 전리영역에서 정전편향기로 끌려나오는 초고진공용의 열음극 전리진공계.
 
8. 맥로드 진공계  (mcleod gauge)
 
  수은주를 이동시키는 것에 의해서 기체를 압축하고 그 기체의 압력을 액주차에 의해서 구하는 압축 진공계.
 
9. 모듈레이터 진공계  (modulator gauge)
 
  모듈레이터로서의 보조전극을 설치하고 그 전위 변화에 의한 집이온전극 전류의 변화를 측정하고, 잔류전류의 영향을 추정할 수 있도록 한 베이야드-알퍼트형의 진공계.
 
10. 방사선 전리 진공계  (radioactive ionization gauge)
 
  내장된 방사선원에서의 방사선에 의해서 생성된 이온을 이용하는 전리진공계.
 
 11. 베이야드-알퍼트 진공계, B-A 진공계  (Bayard-Alpert gauge)
 
  원통형 그리드의 바깥쪽에 열음극을, 또 축 위에 가는 선의 집이온전극을 배치해서, X선한계를 저하시키는 초고진공용의 열음극 전리진공계.
 
12. 부르동관 진동계  (bourdon gauge)
 
  가요격막으로서 부르동관을 이용하는 탄성 진공계.
 
13. 비행시간(질량분석계)형 분압진공계  (time of flight mass spectrometer)
 
  균등한 운동에너지를 지닌 이온의 비행속도가 질량에 의존하는 것을 이용해서 이온을 분리하는 질량분석계형 분압진공계.
 
14. 사극자(질량분석계)형 분압진공계  (quadruple mass spectrometer)
 
  네기둥 모양의 전극에 의해 형성된 직류분을 포함하는 고주파 쌍곡선형 전계에 의해서 이온을 분리하는 질량분석계형 분압진공계.
 
15. 삼극관형 전리 진공계  (triode gauge)
 
  보통 삼극관구조를 가진 열음극 전리진공계. 필라멘트를 관의 축위에 두고 그리드와 플레이트를 필라멘트와 같은 축으로 배치하여 각각을 집전자 전극과 집이온 전극으로 한 것.
 
16. 서미스터 진공계  (thermistor gauge)
 
  가열되어 있는 소자가 서미스터로서 그의 전기 저항이 온도에 의해서 변화하는 것을 이용하는 열전도 진공계.
 
17. 서프레서 진공계  (suppresser gauge)
 
  서프레서전극을 집이온전극의 근처에 설치하고, 집이온전극에서의 이차전자방출의 영향을 억제함과 동시에 X선한계를 저하시키는 초고진공용의 열음극 전리진공계.
 
18. 압축 진공계  (compression gauge)
 
  기체를 이미 알고 있는 비율로 압축하고 그 압력을 측정해서 압축전의 압력을 구하는 진공계.
비고 : 보일의 법칙을 적용할 수 있는 기체에 대하여 사용된다.
 
19. 액주차 진공계  (liquid level manometer)
 
  격리매체로서 액주를 이용하는 차압 진공계.
 
20. 열음극 마그네트론 진공계  (hot cathode magnetron gauge)
 
  단순한 원통형 마그네트론구조를 가진 초고진공용의 열음극 전리진공계.
 
 21. 열음극 전리 진공계  (hot cathode ionization gauge)
 
  열음극에서 방출된 전자에 의해서 기체를 전리하는 전리진공계.
 
22. 열전대 진공계  (thermocouple gauge)
 
  가열되어 있는 소자의 온도를 열전대에 의해서 측정하는 열전도 진공계.
 
23. 열전도 진공계  (thermal conductivity gauge)
 
  저압기체의 열전도가 기체의 압력에 의존하는 것을 이용해서 압력을 구하는 진공계.
 
24. 오메가트론(질량분석계)형 분압진공계  (omegatron mass spectrometer)
 
  직교된 고주파전계와 정자계 속의 이온의 사이클로트론 공명(共鳴)현상을 이용해서 이온을 분리하는 질량분석계형 분압진공계.
 
25. 익스트랙터 진공계  (extractor gauge)
 
  실드에 둘러싸인 집이온전극을 원통형 그리드의 축을 따라 그 바깥쪽에 놓는 것에 의하여 X선한계를 저하시키는 초고진공용의 열음극 전리진공계.
 
26. 자계편향(질량분석계)형 분압 진공계  (magnetic deflection mass spectrometer)
 
  정전계에서 가속된 이온의 궤도를 자계로 편향하는 것에 의해서 이온을 분리하는 질량분석형 분압진공계.
 
27. 전리 진공계  (ionization vacuum gauge)
 
  전리에 의해서 기체 중에서 생성된 이온전류를 측정해서 압력을 구하는 진공계.
 
28. 점성 진공계  (viscosity gauge)
 
  물체의 표면에서 움직이는 기체의 점성력이 기체의 압력에 의존하는 것을 이용해서 압력을 구하는 진공계.
 
29. 크누센 진공계  (knudsen gauge)
 
  기체분자의 평균 자유행정에 비해서 상당히 작은 간격을 유지하면서 배치되며, 또 서로 다른 온도에 유지되고 있어, 2면간의 운동량수송속도를 측정하는 것에 의해서 압력을 구하는 진공계.
 
30. 탄성 진공계  (elastic element gauge)
 
  탄성체(판, 관 등)를 격리매체로 한 차압진공계.
 
 31. 트로코이드(질량분석계)형 분압진공계  (trochoidal focusing mass spectrometer)
 
  직교된 정전계와 정자계 속에서 이온의 궤도가 트로코이드형으로 되는 것을 이용해서 이온을 분리하는 질량분석계형 분압진공계.
 
32. 파라니 진공계  (pitani gauge)
 
  가열되어 있는 금속 가는선의 전기저항이 온도에 의해서 변화하는 것을 이용하는 열전도 진공계.
 
33. 페닝 진공계  (penning gauge)
 
  한쌍의 평행 평판 음극간에 환상양극을 두고 그들의 축에 평행으로 자계를 거는 냉음극 전리진공계.
 
34. U자관 진공계  (U-tube manometer)
 
  U자관을 이용하는 액주차 진공계.