¿¡Ä¡ÇÇÆ®[etch pit]
°¢°¢ÀÇ Àç·á¿¡ ´ëÀÀÇÑ Àû´çÇÑ ºÎ½ÄÀç(´ëºÎºÐ »ê)¿¡ ÀÇÇÑ ÈÇкνÄÀ̳ª ÀüÇغνÄ, °íÁø°ø ¼Ó °¡¿·Î »ý±â´Â Ç¥¸éÀÇ ¿ì¹¬ÇÑ °Í. ½Ä°ø(ãÝÍî)À̶ó°íµµ ÇÑ´Ù. ÀüÀ§ µî °ÝÀÚ°áÇÔÀÌ Ç¥¸é¿¡ ¾ó±¼À» ³»¹Î Àå¼Ò¸¦ ³ªÅ¸³»´Â °æ¿ì(¿¹∶Ge¸¦ CP-4¾×(Áú»ê∶Ç÷ç¿À¸£»ê∶¾Æ¼¼Æ®»ê=5∶3∶3£«Br)¿¡¼ ¿¡Äª)³ª, ±× ºÎºÐÀÇ °áÁ¤¹æÀ§¸¦ ¹Ý¿µÇÑ Çü»óÀ¸·Î µÇ´Â °æ¿ì°¡ ÀÖ´Ù. ÀüÀÚÀÇ °æ¿ì¿¡´Â ÇÇÆ®ÀÇ ¾çÀÌ °áÁ¤(Ì¿ïÜ)¿¡ ´ëÇÑ ¾ÈÀü¼ºÀÇ ¸ñÇ¥°¡ µÈ´Ù. ÈÄÀÚÀÇ °æ¿ì Ç¥¸éÀÌ (100), (110), (111)¿¡ °¡±î¿ì¸é °¢°¢ Á¤¹æÇü, Àå¹æÇü, »ï°¢Çü µî Ư¡ÀûÀÎ ÇÇÆ®°¡ µÇ°í, ¶Ç ±× ±â¿ï±â¸¦ ¹Ý¿µÇÑ ºñ¶Ô¾îÁø Á¤µµ¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù. ÇÇÆ®ÀÇ ³»¸éÀº ´Ù¸éüÀÇ °ÍÀÌ ¸¹À¸¸ç, ÀÌµé ¸é¿¡¼ ¹Ý»ç±¤ ÃÖ´ëÀÇ ¹æÀ§¸¦ °æ°¢Çö¹Ì°æ(ÌËÊÇúéÚ°Ìð∶½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ È¸Àü°ú °æÅë(Ìð÷Õ)À» ±â¿ï¾îÁö°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ÀÌµé °¢µµµµ ¾Ë ¼ö ÀÖ´Â Çö¹Ì°æ)À¸·Î ÃøÁ¤ÇÏ°í, ÇÇÆ®°¡ Á¸ÀçÇÏ´Â °áÁ¤¸³(Ì¿ïÜØ£)ÀÇ ¹æÀ§¸¦ °áÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¸¶Âù°¡Áö·Î °í´Ï¿À¹ÌÅÍ À§ ½Ã·á¿¡¼ÀÇ ¹Ý»ç±¤À¸·Î ¹æÀ§¸¦ °áÁ¤ÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù(±¤»ó¹ý).