X선광전자분광법[X-ray photoelectron spectroscopy, XPS]
XPS 또는 ESCA로 약칭된다. 대형표면분석장치의 하나로 1970년대 후반부터 보급되었다. 고진공 속에서 고체시료 표면에 연질X선을 조사하고, 방출되는 광전자의 운동에너지를 측정하여 원자 내의 전자의 결합에너지를 구함으로써 원소의 종류, 양, 화합상태 등을 안다. 원자의 가수(價數)를 알 수 있다는 것이 특징이다. 최신의 장치에서는 최소분석스폿경 1μm 이상에서 깊이 수nm까지 분석할 수 있다.
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