À̿ºö°¡°ø[ion beam processing]
°¡¼ÓÇÑ À̿ºöÀ» ¹°Áú¿¡ Ãæµ¹½ÃÄÑ ¿øÀÚ·¹º§À» ¹Ì¼¼°¡°øÇÏ´Â ±â¼ú·Î¼ Åë»ó ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ ¹× À̿ºö¿¡ÄªÀ» °¡¸®Å°´Âµ¥, ±¤ÀǷδ À̿ºö¹Í½Ì µîµµ Æ÷ÇԵȴÙ.
¨ç ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ Ã·°¡ÇÏ°íÀÚ ÇÏ´Â ¿ø¼Ò¸¦ ÀÌ¿ÂÈÇÏ°í ÀÏÁ¤ÇÑ ¿¡³ÊÁö¿¡ °¡¼ÓÇÏ¿© Àç·á ³»ºÎ¿¡ ÁýÁß½ÃÅ°´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î, Á¾·¡ÀÇ ¿È®»ê¹ý¿¡ ÀÇÇÑ ¿ø¼Ò÷°¡¹ý¿¡ ºñÇØ ÁÖÀÔÀ̿°ú ÁÖÀԽ÷áÀÇ Á¶ÇÕÀÌ ÀÓÀÇ, Áú·®ºÐ¸®¿¡ ÀÇÇÑ ÁÖÀÔ¿ø¼ÒÀÇ °í¼øµµ µîÀÇ ÀÌÁ¡ÀÌ ÀÖÀ¸³ª, ¼ö½ÊkeV ÀÌ»óÀ¸·Î °¡¼ÓÇÑ ÀÌ¿ÂÀ» ÁÖÀÔÇϱâ À§ÇØ ½Ã·á ³»¿¡ ´Ù¼öÀÇ Á¶»ç°áÇÔÀÌ µµÀԵǴ °áÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ÀÌ ¹æ¹ýÀº ¹ÝµµÃ¼ Á¦À۽à ºÒ¼ø¹°¿ø¼ÒÀÇ µµÇο¡ ½Ç¿ëȵǰí ÀÖ´Â °Í ¿Ü¿¡, ±Ý¼ÓÀç·áÀÇ Ç¥¸é°³Áú(³»¸¶¸ð¼º, ³»»êȼº µî)À¸·ÎÀÇ Àû¿ëÀÌ °ËÅäµÇ°í ÀÖ´Ù.